○ 新材料、 新工藝和新技術的開發(fā)應用
半導體材料在敏感技術中占有較大的技術優(yōu)勢, 半導體傳感器不僅靈敏度高 、 響應速度快、體積小、質量輕 ,而且便于集成化 ,仍將占有主要地位 ;。
以一定化學成分 、 經(jīng)過成型及燒結的功能陶瓷材料 ,其*大特點是耐熱性 ,在敏感技術的發(fā)展中具有很大的潛力; 同時將半導體的精密細微加工技術 、靜電封接技術等應用在傳感器的制造中 , 可極大提高傳感器的性能指標 。
○ 傳感器發(fā)展的集成化、多維化 、多功能化和智能化
采用集成加工技術 ,將傳感器的各部分制作在同一個芯片上, 從而使傳感器具有了體積小 、質量輕、生產(chǎn)自動化程度高、制造成本低 、穩(wěn)定性和可靠性高、 安裝調試時間短等優(yōu)點 。
使用電子掃描技術,將多個傳感器單元做在一起, 就可以研究多維空間的問題,如 CT技術等 ; 智能化傳感器還能將數(shù)據(jù)的采集 、 存儲 、 處理等一體化,從而實現(xiàn)其多功能化 。
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