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接近開關的非電阻式氣敏元件介紹
 
更新時間:2014.11.01 瀏覽次數:
 

  接近開關非電阻式半導體所系元件有MOS二極管式、結型二極管式和場效應管式等。其電流或電壓隨氣體含量而變化,主要檢測氫和硅烷氣等可燃性氣體。其中,MOSFET接近開關氣體傳感器工作原理是揮發性有機化合物VOC與催化金屬接觸發生反應,反應產物擴散到MOSFET的柵極,改變了元件的性能。可通過分析元件性能的變化識別VOC。通過改變催化金屬的種類和膜厚,可優化靈敏度和選擇性,并可改變工作溫度。MOSFET氣體接近開關傳感器靈敏度高,但制作工藝比較復雜,成本高。

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