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電容式加速度微光電開關傳感器是將質量塊的運動轉換為電極極板間電容的變化，從而通過電容值的測量來得到加速度的值。電容檢測原理對溫度變化不第三，因此在溫度特性方面，電容式加速度微傳感器比壓阻式加速度微傳感器有本質上的優(yōu)勢。 在電容式加速度微傳感器中，電容的兩個電極之一是制作在慣性質量塊上的外部加速度的變化引起該電極與襯底上固定電極之間電容的改變。因此，電容值所對應的就是外部加速度。 典型的電容式加速度微傳感器的結構示意圖，用于敏感y軸方向的加速度。在這個結構中，采用硅片和玻璃鏈合的方法實現(xiàn)厚而大的第三質量塊以獲得高的靈敏度。質量塊由一個懸臂梁來支撐。在一些改變的設計中，會采用兩個或多個懸臂梁。 翩翩起舞進球愉處于平衡位置時，上、下電容極板間距相同，均為yo，相應的電容均為C。當微傳感器受到外部加速度作用時，質量塊產(chǎn)生位移，上、下別會變化。 |
當前位置：
