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電容式接近開關的感應面由兩個同軸金屬電極，就象“電容器電極開放”，兩個電極構成一個電容器，連接在RC振蕩電路系列。當電源接通時，RC振蕩器不振蕩，當一個目標對電容器的電接觸，是提高電容器的容量，振蕩器開始振蕩。
通過對后級電路的處理，將振動和振蕩兩種信號為開關信號，放大電路轉換成電壓信號，以測試是否為目的的對象存在了。傳感器可以檢測金屬物體，也能檢測非金屬物體，金屬物體可獲得的最大移動距離，非金屬目標作用距離的介電常數取決于材料，材料的介電常數很高，可獲得的作用距離的增加而增加。
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